Descripción
En
este trabajo se reporta la síntesis, la caracterización micro-estructural y las
propiedades ópticas de películas delgadas de niobato de litio (LiNbO3)
depositadas sobre sustratos de silicio mediante el método de depósito químico
de vapor asistido por aerosol (AACVD). Las películas depositadas fueron
poli-cristalinas, uniformes, densas, no dispersoras de luz y firmemente
adheridas al sustrato. Esto se dedujo de la realización de estudios de
microscopía electrónica de alta resolución y de mediciones de espectros de
reflectancia óptica. Las películas no fueron epitaxiales, sin embargo, se
considera que son suficientemente lisas para ser empleadas en aplicaciones de
guías de onda ópticas, dado que la rugosidad es muy baja comparada con la
longitud de onda de la radiación con posibilidades de uso.
Ocón-Arellanes,
J. et al. (2014). Synthesis, microstructural and optical characterization of LiNbO3
thin films deposited by aerosol assisted chemical vapor deposition. Acta
Universitaria, 24(4), pp. 21-26.
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